无油真空泵出现故障时，可以按照以下步骤进行排查：

检查电源和电气连接：

确保真空泵的电源连接正确并且供电正常。

检查电气连接是否良好，包括电缆、插头和插座等部分，确保没有松动或损坏。

观察真空泵工作状态：

启动真空泵，观察其工作状态。如果真空泵没有正常启动或者启动后没有产生预期的真空度，则可能存在问题。

注意是否有异常噪音、振动或异味等现象，这些都可能是故障的指示。

检查过滤器和排气管道：

检查过滤器是否清洁，过滤器堵塞可能导致真空泵无法正常工作。

检查排气管道是否有堵塞或者异物，确保排气顺畅。

检查真空泵本体：

检查真空泵的外观是否有异常，如有漏油、渗油、漏气等现象。

检查泵体和泵头是否有损坏或者松动，确保所有部件安装正确并且密封良好。

检查密封件：

检查密封圈和密封垫是否完好，损坏的密封件可能导致气体泄漏。

如果是旋转式真空泵，检查转子和叶片是否磨损或者卡住。

检查冷却系统：

如果真空泵有冷却系统，检查冷却水供应是否正常，确保冷却系统正常运行。

使用测试仪器：

使用真空度计或者其他测试仪器检测真空泵的真空度和工作性能，以确定是否达到预期要求。

如果有可能，可以进行部件的分离测试，逐步确定具体出现问题的部位。

查阅使用手册或者联系厂家：

如果以上排查方法无法解决问题，可以查阅真空泵的使用手册，寻找故障排除方法。

如仍无法解决，可以联系真空泵厂家或者技术人员进行进一步咨询和维修。

通过以上排查步骤，可以初步确定无油真空泵出现故障的原因，并采取相应的维修或者更换措施。