无油真空泵在半导体制造中的关键作用主要体现在以下几个方面：

清洁度要求：半导体制造对环境要求极高，任何油污或颗粒都可能对半导体器件造成损害。无油真空泵不使用润滑油，因此可以提供更高纯度的真空环境，满足半导体制造对清洁度的要求。

避免污染：由于无油真空泵不使用油，因此不会产生油蒸气，避免了油蒸气与半导体材料接触，避免了可能出现的化学反应和污染问题。

工艺稳定性：在半导体制造过程中，稳定的真空环境对于工艺的重复性和一致性至关重要。无油真空泵能够提供更加稳定和可控的真空条件，有助于提高质量和生产效率。

提高生产效率：无油真空泵通常具有较高的可靠性，维护周期长，减少了因维护和更换部件导致的停机时间，从而提高了生产效率。

适应多种工艺：无油真空泵能够适应半导体制造中的多种工艺要求，如CVD（化学气相沉积）、PVD、离子注入等，为不同工艺提供了所需的真空条件。

环境符合性：无油真空泵的使用有助于减少对环境的影响，因为它们不会产生油污和油蒸气，符合日益严格的环境法规和标准。

总之，无油真空泵在半导体制造中的应用对于保证产品的质量和生产效率至关重要，它们的高清洁度和可靠性使其成为半导体制造不可或缺的关键设备。